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ICS
25
团体标准
T/CI 1482—2026
碳化硅晶圆化学机械抛光(CMP)设备通用技术要求
2026-09-14发布
2026-03-16实施
中国国际科技促进会 发布
现行
T/CI 1482—2026
碳化硅晶圆化学机械抛光(CMP)设备通用技术要求
公布日期:2026-09-14
发布日期:2026-03-16
实施日期:2026-03-16
所属团体:中国国际科技促进会
分类信息
国际标准分类
25 机械制造 -> 25.080 机床 -> 25.080.50 磨床和抛光机
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C35 专用设备制造业 -> C356 电子和电工机械专用设备制造 -> C3562 半导体器件专用设备制造
研制信息
起草单位
北京特思迪半导体设备有限公司
江苏芯创微半导体技术有限公司
杭州智谷精工有限公司
北京京运通科技股份有限公司
河南工业大学
起草人
寇明虎
徐雷达
袁巨龙
郭大伟
栗正新
陈晓丹
邹福志
王 旭
夏树胜
范围
主要技术内容
本文件规定了碳化硅晶圆化学机械抛光(CMP)设备的一般要求、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输与贮存。
适用范围
本文件适用于采用化学机械抛光工艺对碳化硅单晶衬底进行超精密加工的专用设备。
是否包含专利
否
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