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ICS
13
团体标准
T/CNIA 0287—2025
半导体洁净室 空气分子污染物(AMC)掺杂剂B和P测定 电感耦合等离子体质谱法
2025-07-09发布
2025-07-01实施
中国有色金属工业协会 发布
现行
T/CNIA 0287—2025
半导体洁净室 空气分子污染物(AMC)掺杂剂B和P测定 电感耦合等离子体质谱法
公布日期:2025-07-09
发布日期:2025-02-24
实施日期:2025-07-01
所属团体:中国有色金属工业协会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
13 环保、保健和安全 -> 13.040 空气质量 -> 13.040.30 工作场所空气
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C41 其他制造业 -> C419 其他未列明制造业
研制信息
起草单位
TCL中环新能源科技股份有限公司
四川永祥能源科技有限公司
山东有研半导体材料有限公司
洛阳中硅高科技有限公司
珀金埃尔默企业管理(上海)有限公司
江苏鑫华半导体科技股份有限公司
江苏中能硅业科技发展有限公司
中环领先半导体科技股份有限公司
上海新昇半导体科技有限公司
青海芯测科技有限公司
新特能源股份有限公司
青岛盛瀚色谱技术有限公司
杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
上海晶盟硅材料有限公司
江苏环鑫半导体有限公司
起草人
邓春星
张雪囡
由佰玲
李春阳
贾琳蔚
朱晓彤
张园园
徐俊俊
孔令群
吴 倩
王春明
冯 天
薛心禄
刘国霞
张锦梅
徐新华
顾广安
杨玉聪
范围
主要技术内容
本文件描述了电感耦合等离子体质谱法测定半导体洁净室空气分子污染物(AMC)中掺杂剂B和P的方法。 本文件适用于半导体洁净室空气分子污染物(AMC)中掺杂剂B和P的测定。
适用范围
是否包含专利
否
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