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ICS
29
团体标准
T/CADZ 0095—2026
化学机械抛光(CMP)用纳米氧化硅磨料
2026-07-10发布
2026-07-01实施
中国开发区协会 发布
现行
T/CADZ 0095—2026
化学机械抛光(CMP)用纳米氧化硅磨料
Nano silica abrasive for chemical mechanical planarization (CMP)
公布日期:2026-07-10
发布日期:2026-05-29
实施日期:2026-07-01
所属团体:中国开发区协会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
29 电气工程 -> 29.045 半导体材料
中国标准分类
H 冶金 -> H80/84 半金属与半导体材料 -> H80 半金属与半导体材料综合
国民经济分类
C 制造业 -> C39 计算机、通信和其他电子设备制造业 -> C398 电子元件及电子专用材料制造 -> C3985 电子专用材料制造
研制信息
起草单位
宁波积硅电子材料有限公司
上海润平电子材料股份有限公司
大连理工大学
中晶能纳米材料科技(天津)有限公司
桂林电子科技大学
衢州博来纳润电子材料有限公司
河南工业大学
起草人
苏宏久
惠宏业
高 尚
黄运雷
胡晓凯
张泽芳
栗正新
陈伟琴
孙天宇
严子鹏
常 江
高云峰
陈宝丞
杜全心
王 博
冯 爽
范围
主要技术内容
4 产品分类 4.1 颗粒形貌 4.2 是否改性 4.3 纯度(金属杂质含量) 4.4 稳定方式 5 技术要求 5.1 外观 5.2 理化性能 6 试验方法 6.1 一般要求 6.2 外观 6.3 粒径及分布指数 6.4 固含量 6.5 PH值 6.6 电导率 6.7 粘度 6.8 醇含量的测定 6.9 分散稳定性 6.10 形貌 6.11 BET比表面积的测定 6.12 金属杂质
适用范围
本文件规定了化学机械抛光(CMP)用纳米氧化硅磨料(以下简称“产品”)的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于化学机械抛光(CMP)用纳米氧化硅磨料。
是否包含专利
否
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