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ICS
25
团体标准
T/CMEEEA 379—2026
碳化硅化学气相沉积炉
2026-09-24发布
2026-10-02实施
中国机电设备工程协会 发布
现行
T/CMEEEA 379—2026
碳化硅化学气相沉积炉
Silicon carbide chemical vapor deposition furnace
公布日期:2026-09-24
发布日期:2026-09-03
实施日期:2026-10-02
所属团体:中国机电设备工程协会
分类信息
国际标准分类
25 机械制造 -> 25.220 表面处理和镀涂
中国标准分类
-
国民经济分类
C 制造业 -> C35 专用设备制造业 -> C351 采矿、冶金、建筑专用设备制造 -> C3516 冶金专用设备制造
研制信息
起草单位
株洲瑞德尔智能热工装备股份有限公司
辽宁金谷炭材料股份有限公司
湖南美特瑞新材料科技有限公司
台州市星光真空设备制造有限公司
重庆博圣仪器仪表有限公司
起草人
金星宇
袁治军
刘国华
沈俊华
张荣录
宋立臣
叶小波
尹 胜
范围
主要技术内容
本文件规定了碳化硅化学气相沉积炉的产品分类和技术要求,描述了相应的试验方法,规定了检验规则、标志、包装、运输、贮存、出厂文件以及订购与供货等要求。
适用范围
本文件适用于以甲基三氯硅烷(MTS)为硅源和碳源,采用化学气相沉积(CVD)技术,在基体表面制备碳化硅(SiC)涂层的化学气相沉积炉。
是否包含专利
否
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