主要技术内容
本标准适用于半导体制造设备所用气体质量流量控制器的性能测试与评价
本标准规定测试内容:
气体质量流量控制器的精度、线性度、重复性、滞后和死区的测试条件与方法,气体质量流量控制器对设定点阶跃变化的瞬态响应特性的测试条件与方法,入口与出口压力变化对气体质量流量控制器指示流量与实际流量影响的测试方法。
本标准未涉及与气体质量流量控制器使用相关的所有安全问题。使用者有责任建立适当的安全与健康操作规范,并确认符合相关法律法规的要求。
适用范围
本标准适用于半导体制造设备所用气体质量流量控制器的性能测试与评价
本标准规定测试内容:
气体质量流量控制器的精度、线性度、重复性、滞后和死区的测试条件与方法,气体质量流量控制器对设定点阶跃变化的瞬态响应特性的测试条件与方法,入口与出口压力变化对气体质量流量控制器指示流量与实际流量影响的测试方法。
本标准未涉及与气体质量流量控制器使用相关的所有安全问题。使用者有责任建立适当的安全与健康操作规范,并确认符合相关法律法规的要求。
是否包含专利
否