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ICS
19
团体标准
T/WEA 091—2026
MEMS微镜性能测试规范
2026-06-22发布
2026-06-16实施
中国智慧工程研究会 发布
现行
T/WEA 091—2026
MEMS微镜性能测试规范
MEMS mirror performance testing specifications
公布日期:2026-06-22
发布日期:2026-06-16
实施日期:2026-06-16
所属团体:中国智慧工程研究会
标准发布公告
分类信息
国际标准分类
19 试验 -> 19.020 试验条件和规程综合
中国标准分类
N 仪器、仪表 -> N30/39 光学仪器 -> N30 光学仪器综合
国民经济分类
C 制造业 -> C39 计算机、通信和其他电子设备制造业 -> C397 电子器件制造 -> C3976 光电子器件制造
研制信息
起草单位
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
上海麦锴科技有限公司
四川
*****
程学院
该起草单位未通过
全国组织机构统一社会信用代码查询平台
校验。根据团体填报信息,该单位为“其他”
四川云盾光电科技有限公司
菏泽市科学技术信息研究所(菏泽市科技成果转化中心)
起草人
武震宇
王栎皓
夏园林
姜世平
董传民
范围
主要技术内容
本文件规定了MEMS扫描镜的相关术语和定义及试验方法。
适用范围
本文件适用于基于镜面倾斜扭转的连续扫描型、矢量扫描型MEMS扫描镜和微镜阵列。本文件不适用于数字微镜器件(DMD)。
是否包含专利
否
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