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ICS
17
团体标准
T/SCASH 0010—2026
半导体设备用静电吸盘温度均匀性测试方法
2026-09-21发布
2026-10-17实施
上海硅酸盐工业协会 发布
现行
T/SCASH 0010—2026
半导体设备用静电吸盘温度均匀性测试方法
公布日期:2026-09-21
发布日期:2026-09-19
实施日期:2026-10-17
所属团体:上海硅酸盐工业协会
分类信息
国际标准分类
17 计量学和测量、物理现象 -> 17.200 热力学和温度测量 -> 17.200.99 有关热力学的其他标准
中国标准分类
L 电子元器件与信息技术 -> L55/59 微电路 -> L56 半导体集成电路
国民经济分类
M 科学研究和技术服务业 -> M73 研究和试验发展 -> M732 工程和技术研究和试验发展
研制信息
起草单位
宁夏北瓷新材料科技有限公司
苏州耀德半导体有限公司
中国科学院上海硅酸盐研究所
成都旭瓷新材料有限公司
中材高新氮化物陶瓷有限公司
成都旭光电子股份有限公司
天津大学
沈阳星光技术陶瓷有限公司
钛亚特(宁夏)新材料科技有限公司
宁夏北伏科技有限公司
起草人
田印国
黄海燕
赖学明
陈鹤拓
成 罗
宋 阳
周国红
王再义
隋天一
郝 岩
李 镔
王明清
陈军平
范围
主要技术内容
本文件规定了半导体设备用静电吸盘真空条件下温度均匀性的测试原理、仪器设备、样品、测试方法、精密度。
适用范围
本文件适用于半导体制造领域中静电吸盘在真空环境下的温度均匀性测试。
是否包含专利
否
{{$t('common.home')}}
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{{ detail.standardStatusName }}
{{ $t('standardDetail.aboutToAbolish') }}
{{ detail.standardNo }}
{{ detail.standardTitleCn }}
{{ detail.standardTitleEn }}
{{$t('standardDetail.filePublishDate')}}:{{ detail.filePublishDate || '-' }}
{{$t('standardDetail.publishDate')}}:{{ detail.publishDate || '-' }}
{{$t('standardDetail.implementDate')}}:{{ detail.implementDate || '-' }}
{{$t('standardDetail.abolishTime')}}:{{ detail.disabledDate || '-' }}
{{$t('standardDetail.upcomingAbolishDate')}}:{{ detail.disabledDate }}
{{$t('standardDetail.belongOrg')}}:{{ detail.organName }}
{{ file.tagName }}
{{ (detail.isOpen == 1 && detail.hasCnPdf == true) ? $t('standardDetail.previewCn') : '不公开' }}
{{$t('standardDetail.previewEn')}}
{{ detail.isSale == 1 ? $t('organization.purchase') : $t('organization.notPurchasable') }}
{{$t('organization.complaint')}}
{{ $t('standardDetail.adminPreviewCn') }}
{{ $t('standardDetail.adminPreviewEn') }}
{{ timelineRecordSep }}
{{ date }}
{{ getTimelineDisplayTitle(cell.item) }}
当前
{{ meta.label }}:
{{ meta.value }}
{{$t('standardDetail.categoryInfo')}}
{{$t('standardDetail.icsNo')}}
{{ detail.icsl1Name || '-' }}
{{$t('standardDetail.ccsNo')}}
{{ detail.ccss1Name || '-' }}
{{$t('standardDetail.nationalEconomy')}}
{{ detail.ccsl1Name || '-' }}
{{$t('standardDetail.developInfo')}}
{{$t('standardDetail.draftingUnit')}}
{{ part.text }}
{{ part.text }}
{{ part.text }}
-
{{$t('standardDetail.drafter')}}
{{ name }}
{{ drafterText }}
-
{{$t('standardDetail.applicableScope')}}
{{$t('standardDetail.mainContent')}}
{{ detail.mainContent || '-' }}
{{$t('standardDetail.scope')}}
{{ detail.scope || '-' }}
{{$t('standardDetail.hasPatent')}}
{{ detail.isPatentName || '-' }}