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ICS
75
团体标准
T/SZMMA 12—2026
半导体设备制造用铝合金板材技术要求
2026-07-06发布
2026-07-01实施
深圳市新材料行业协会 发布
现行
T/SZMMA 12—2026
半导体设备制造用铝合金板材技术要求
公布日期:2026-07-06
发布日期:2026-06-29
实施日期:2026-07-01
所属团体:深圳市新材料行业协会
分类信息
国际标准分类
75 石油及相关技术
中国标准分类
H 冶金
国民经济分类
C 制造业
研制信息
起草单位
广东锐田新材料有限公司
清远市瑞田新材料有限公司
深圳市新材料行业协会
深圳市思迈达智能设备有限公司
深圳市神州知识产权代理有限公司
科鉴(深圳)标准技术服务有限公司
起草人
史随群
李 音
沈从奎
顿中华
刘学文
焦广萍
范围
主要技术内容
1.范围 2.规范性引用文件 3.术语和定义 4.产品分类 5.技术要求 6.试验方法 7.检测规则 8.标志、包装、运输、贮存及随行文件
适用范围
本文件规定了半导体设备制造用铝合金板材的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、 包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。 本文件适用于半导体设备制造用铝合金板材(以下简称“板材”)。
是否包含专利
否
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