中国机电设备工程协会自我承诺
中国机电设备工程协会发布的T/CMEEEA 102—2026《半导体薄膜沉积设备气体管道用 质量流量传感器》团体标准遵循开放、公平、透明、协商一致和促进贸易和交流的原则，按照在本平台公布的《标准制定程序文件_CMEEEA》制定。T/CMEEEA 102—2026《半导体薄膜沉积设备气体管道用 质量流量传感器》团体标准规定的内容符合国家有关法律法规和强制性标准的要求，没有侵犯他人合法权益。
中国机电设备工程协会在自愿基础上作出本承诺，并对以上承诺内容的真实性负责。
中国机电设备工程协会
2026年03月18日
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 中国机电设备工程协会 | ||
| 登记证号 | 51100000500017781L | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 行业自律 技术交流 业务培训 书刊编辑 国际合作 咨询服务 | ||
| 法定代表人/负责人 | 白会宜 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 北京市海淀区皂君庙14号院9号楼 | 邮编 : 100081 | |
| 标准详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 标准状态 | 现行 | ||
| 标准编号 | T/CMEEEA 102—2026 | ||
| 中文标题 | 半导体薄膜沉积设备气体管道用 质量流量传感器 | ||
| 英文标题 | Mass flow sensor for gas pipes in semiconductor thin film deposition equipment | ||
| 国际标准分类号 | 17.040.30 测量仪器仪表 | ||
| 中国标准分类号 | |||
| 国民经济分类 | C397 电子器件制造 | ||
| 发布日期 | 2026年02月04日 | ||
| 实施日期 | 2026年03月03日 | ||
| 起草人 | 丁波、陈嘉辉、黄秀颀、陈瀚、乐志斌、夏卫彬、杨笛。 | ||
| 起草单位 | 上海微世半导体有限公司、深圳蓝动精密有限公司、成都辰显光电有限公司、北京中研智标技术服务有限公司、北京六只猫创意科技有限公司。 | ||
| 适用范围 | |||
| 主要技术内容 | 本文件规定了半导体薄膜沉积设备气体管道用质量流量传感器的环境要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输与贮存。 本文件适用于半导体薄膜沉积工艺中，对硅烷、氨气、三氟化氮等腐蚀性气体进行高精度质量流量测量的传感器。 |
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| 是否包含专利信息 | 否 | ||
| 标准文本 | 不公开 | ||
| 标准公告 | |||
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| 标准发布公告 | 2026/2/9 16:13:42 | ||
*由中国机电设备工程协会于2026/2/9 16:13:42在团体标准信息平台公布，最后修改时间：2026/2/9 16:13:42
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