广东省测量控制技术与装备应用促进会自我承诺
广东省测量控制技术与装备应用促进会发布的T/GDCKCJH 125—2026《真空等离子表面处理设备及工艺规范》团体标准遵循开放、公平、透明、协商一致和促进贸易和交流的原则，按照在本平台公布的《标准制定程序文件_GDCKCJH》制定。T/GDCKCJH 125—2026《真空等离子表面处理设备及工艺规范》团体标准规定的内容符合国家有关法律法规和强制性标准的要求，没有侵犯他人合法权益。
广东省测量控制技术与装备应用促进会在自愿基础上作出本承诺，并对以上承诺内容的真实性负责。
广东省测量控制技术与装备应用促进会
2026年02月06日
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 广东省测量控制技术与装备应用促进会 | ||
| 登记证号 | 51440000MJK801014M | 发证机关 | 广东省民政厅 |
| 业务范围 | 测控装备领域科技项目开发、成果转化、技术咨询与培训、标准制定、科技交流及科普等；承接政府成果鉴定，奖励推荐、技术评估、人才评价等职能转移；协助出版学术刊物。 | ||
| 法定代表人/负责人 | 刘桂雄 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 广州市天河区东莞庄一横路116号广东生产力大厦511房 | 邮编 : 510610 | |
| 标准详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 标准状态 | 现行 | ||
| 标准编号 | T/GDCKCJH 125—2026 | ||
| 中文标题 | 真空等离子表面处理设备及工艺规范 | ||
| 英文标题 | Vacuum plasma surface treatment equipment and process specifications | ||
| 国际标准分类号 | 29.220.01 电池和蓄电池综合 | ||
| 中国标准分类号 | K82 | ||
| 国民经济分类 | M732 工程和技术研究和试验发展 | ||
| 发布日期 | 2026年02月06日 | ||
| 实施日期 | 2026年02月10日 | ||
| 起草人 | 冼健威、薛家祥、欧宁、田艳艳、孙俊、陈洪高、马金虎、张新平、岳行山、侯振健、汤水泉、白力国、龙昌东、杨文敏、黄家福、邓雅伦 | ||
| 起草单位 | 东莞市晟鼎精密仪器有限公司、华南理工大学、广东斯泰克电子科技有限公司、大湾区大学 | ||
| 适用范围 | 本文件适用于以真空腔室为处理空间，在5 mTorr～2000 mTorr等低压环境下，通过射频(RF)或中频(MF)电源将工艺气体激发为等离子体，对工件表面进行清洗、活化、刻蚀或表面改性的真空等离子表面处理设备。本文件不适用于大气等离子表面处理设备，仅用于实验研究的真空等离子诊断装置，以高压放电、弧光放电为主的真空处理设备。 | ||
| 主要技术内容 | 本文件规定了真空等离子表面处理设备的分类与型号、技术要求、工艺规范、试验方法、检验规则，以及标志、包装、运输和贮存要求。 | ||
| 是否包含专利信息 | 否 | ||
| 标准文本 | 不公开 | ||
| 标准公告 | |||
|---|---|---|---|
| 标准发布公告 | 2026/2/6 18:27:48 | ||
*由广东省测量控制技术与装备应用促进会于2026/2/6 18:27:48在团体标准信息平台公布，最后修改时间：2026/2/6 18:27:48
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