中关村标准化协会自我承诺
中关村标准化协会发布的T/ZSA 325—2026《气体质量流量控制器性能测试规范》团体标准遵循开放、公平、透明、协商一致和促进贸易和交流的原则，按照在本平台公布的《标准制定程序文件_ZSA》制定。T/ZSA 325—2026《气体质量流量控制器性能测试规范》团体标准规定的内容符合国家有关法律法规和强制性标准的要求，没有侵犯他人合法权益。
中关村标准化协会在自愿基础上作出本承诺，并对以上承诺内容的真实性负责。
中关村标准化协会
2026年01月28日
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 中关村标准化协会 | ||
| 登记证号 | 51110000MJ0111906XH | 发证机关 | 北京市民政局 |
| 业务范围 | 开展在中关村标准化领域内的学术研究、学术交流、咨询培训、会议会展、国际交流 | ||
| 法定代表人/负责人 | 王钧 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 北京市通州区观音庵南街1号院1号楼21层2单元2111 | 邮编 : 100044 | |
| 标准详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 标准状态 | 现行 | ||
| 标准编号 | T/ZSA 325—2026 | ||
| 中文标题 | 气体质量流量控制器性能测试规范 | ||
| 英文标题 | Performance Test Specifications for Gas Mass Flow Controllers | ||
| 国际标准分类号 | 01.040.01 综合、术语学、标准化、文献 (词汇) | ||
| 中国标准分类号 | A00 | ||
| 国民经济分类 | M732 工程和技术研究和试验发展 | ||
| 发布日期 | 2026年01月13日 | ||
| 实施日期 | 2026年01月14日 | ||
| 起草人 | 吕欣，何沛，朱家宽，李冠男、刘志凯、张心怡等。 | ||
| 起草单位 | 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司、辽宁冠华半导体有限公司 | ||
| 范围 | 本标准适用于半导体制造设备所用气体质量流量控制器的性能测试与评价 本标准规定测试内容： 气体质量流量控制器的精度、线性度、重复性、滞后和死区的测试条件与方法，气体质量流量控制器对设定点阶跃变化的瞬态响应特性的测试条件与方法，入口与出口压力变化对气体质量流量控制器指示流量与实际流量影响的测试方法。 本标准未涉及与气体质量流量控制器使用相关的所有安全问题。使用者有责任建立适当的安全与健康操作规范，并确认符合相关法律法规的要求。 | ||
| 主要技术内容 | 本标准适用于半导体制造设备所用气体质量流量控制器的性能测试与评价 本标准规定测试内容： 气体质量流量控制器的精度、线性度、重复性、滞后和死区的测试条件与方法，气体质量流量控制器对设定点阶跃变化的瞬态响应特性的测试条件与方法，入口与出口压力变化对气体质量流量控制器指示流量与实际流量影响的测试方法。 本标准未涉及与气体质量流量控制器使用相关的所有安全问题。使用者有责任建立适当的安全与健康操作规范，并确认符合相关法律法规的要求。 |
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| 是否包含专利信息 | 否 | ||
| 标准文本 | 不公开 | ||
| 标准公告 | |||
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| 标准发布公告 | 2026/1/26 15:44:52 | ||
*由中关村标准化协会于2026/1/26 15:44:52在团体标准信息平台公布，最后修改时间：2026/1/26 15:44:52
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