中国电子装备技术开发协会自我承诺
中国电子装备技术开发协会发布的T/CAEE 028—2026《电子级硫酸制造用高纯三氧化硫》团体标准遵循开放、公平、透明、协商一致和促进贸易和交流的原则，按照在本平台公布的《标准制定程序文件_CAEE》制定。T/CAEE 028—2026《电子级硫酸制造用高纯三氧化硫》团体标准规定的内容符合国家有关法律法规和强制性标准的要求，没有侵犯他人合法权益。
中国电子装备技术开发协会在自愿基础上作出本承诺，并对以上承诺内容的真实性负责。
中国电子装备技术开发协会
2026年01月15日
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 中国电子装备技术开发协会 | ||
| 登记证号 | 511000005000152250 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 信息交流 业务培训 书刊编辑 国际合作 咨询服务 | ||
| 法定代表人/负责人 | 唐爱军 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 北京市海淀区首体南路38号创景大厦3层南侧 | 邮编 : 100037 | |
| 标准详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 标准状态 | 现行 | ||
| 标准编号 | T/CAEE 028—2026 | ||
| 中文标题 | 电子级硫酸制造用高纯三氧化硫 | ||
| 英文标题 | high-purity sulfur trioxide for electronic-grade sulfuric acid manufacturing | ||
| 国际标准分类号 | 71.060.20 氧化物 | ||
| 中国标准分类号 | |||
| 国民经济分类 | C398 电子元件及电子专用材料制造 | ||
| 发布日期 | 2026年01月15日 | ||
| 实施日期 | 2026年02月01日 | ||
| 起草人 | 顾林建、文革、郭岚峰、崔鹏慧、何文旭、石黄华、吴斌、许艳梅、崔学军。 | ||
| 起草单位 | 苏州双狮环境科技有限公司、惠州市晟达新材料科技有限公司、湖北兴福电子材料股份有限公司、天津环渤新材料有限公司、北京通标科达标准化技术有限公司、沈阳千亿信息科技有限公司 | ||
| 范围 | |||
| 主要技术内容 | 5 试验方法 一般要求 5.1.1 实验室环境 试验应在洁净、干燥、通风良好的实验室中进行，实验室温度应控制在 20℃±2℃，相对湿度≤65%。实验室应远离粉尘源、污染源和强电磁干扰源，避免环境因素对检测结果产生影响。用于痕量杂质检测的实验室应符合洁净实验室相关要求，空气中的悬浮颗粒物、金属杂质含量应控制在极低水平。 5.1.2 试验用水 试验所用纯水应符合 GB/T 6682 中一级水的要求，电阻率≥18.2MΩ?cm（25℃），总有机碳（TOC）≤10ppb，金属杂质含量≤0.1ppb。试验用水在使用前应经过脱气处理，避免水中溶解的气体对检测结果产生干扰。 5.1.3 试验器具 所有试验器具（包括容量瓶、移液管、坩埚、比色管等）均应选用耐腐蚀、低杂质的材质，如硼硅酸盐玻璃、PFA、PTFE 等。试验器具在使用前应进行严格的清洗和校准：先用稀硝酸溶液（1+9）浸泡 24h，再用一级水冲洗至少 10 次，最后在 105℃±2℃的烘箱中烘干至恒重，冷却后备用。用于 ICP-MS、离子色谱等精密仪器分析的器具，还应进行空白验证，确保器具本身不引入杂质。 5.1.4 试剂和材料 试验所用试剂均应为优级纯或更高纯度级别，其杂质含量应远低于被检测样品的杂质限值，避免试剂引入干扰。标准品应选用有证标准物质，浓度准确，稳定性良好，在有效期内使用。载气、燃气等气体应符合相关标准要求，如气相色谱法所用载气高纯氮气的纯度≥99.999%，确保仪器正常运行和检测结果的准确性。 5.1.5 仪器校准 所有检测仪器（气相色谱仪、ICP-MS 仪、离子色谱仪、密度计、旋转粘度计等）均应按照相关标准或仪器操作规程进行定期校准，校准周期不应超过 2 年。校准应使用有证标准物质或标准器具，校准结果应符合仪器的技术要求。仪器校准记录应妥善保存，以备核查。 外观检验 5.2.1 检验环境 检验应在自然光充足、无干扰的环境下进行，可在通风橱内操作，避免样品挥发产生的烟雾影响观察。环境温度应控制在 20℃±2℃，避免温度过高或过低导致样品状态变化。 5.2.2 检验器具 选用清洁、干燥、无划痕的透明石英比色管，规格为 50mL 或 100mL，液面高度不低于 20cm。同时准备一支同规格的标准比色管，装入同体积的一级水作为对照。 5.2.3 检验步骤 ——用洁净的 PFA 移液管吸取适量试样，缓慢注入石英比色管中，液面高度控制在 20cm～30cm 之间。 ——将装有试样的比色管与装有一级水的标准比色管并列放置，在自然光下从侧面和正面观察试样的颜色、透明度。 ——仔细检查试样中是否有可见悬浮物、沉淀、气泡及其他机械杂质。观察时应避免阳光直射，必要时可借助放大镜辅助观察。 ——记录观察结果，若试样为无色、透明，且无可见悬浮物、沉淀及其他机械杂质，则判定外观合格；否则判定为不合格。 纯度分析 采用气相色谱法（GB/T 9722—2006）作为主测定方法，同时采用 GB/T 23855—2018 规定的滴定法进行验证，两种方法的测定结果绝对差值应≤0.02%，取平均值作为最终测定结果；若绝对差值 > 0.02%，按 5.3.3 规定重新测定。 5.3.1 气相色谱法 仪器和设备 a)气相色谱仪：配备热导检测器（TCD），检测灵敏度≤1×10??g/s（以苯计）。 b)色谱柱：Porapak QS（80-100 目），柱长 2m，内径 3mm 的不锈钢柱或玻璃柱。 c)气密型注射器：规格为 10μL、50μL，密封性良好，无泄漏。 d)恒温水浴锅：控温精度 ±0.1℃。 e)分析天平：精度 0.0001g。 试剂和材料 a)载气：高纯氮气，纯度≥99.999%。 b)三氧化硫标准样品：已知纯度≥99.99%（质量分数），有证标准物质。 c)无水乙醇：优级纯，水分含量≤0.05%。 色谱操作条件 a)柱温：120℃，保持 30min。 b)进样口温度：180℃。 c)检测器温度：200℃。 d)载气流速：30mL/min，保持稳定。 e)进样量：10μL。 f)检测器电流：150mA。 标准曲线绘制 ——准确称取三氧化硫标准样品 0.1g、0.2g、0.3g、0.4g、0.5g（精确至 0.0001g），分别置于 5 个干燥的样品瓶中，加入 5mL 无水乙醇溶解，摇匀。 ——按照上述色谱操作条件，将气密型注射器依次吸取 10μL 标准溶液注入气相色谱仪中，记录色谱图，测定各标准溶液的峰面积。 ——以三氧化硫标准样品的质量分数为横坐标，对应的峰面积为纵坐标，绘制标准曲线，进行线性回归分析，得到回归方程 y=ax+b（其中 y 为峰面积，x 为质量分数，a 为斜率，b 为截距），相关系数 r 应≥0.9990。 |
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| 是否包含专利信息 | 否 | ||
| 标准文本 | 不公开 | ||
| 标准公告 | |||
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| 标准发布公告 | 2026/1/15 10:17:32 | ||
*由中国电子装备技术开发协会于2026/1/15 10:17:32在团体标准信息平台公布，最后修改时间：2026/1/15 10:17:32
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