中关村集成电路材料产业技术创新联盟自我承诺
中关村集成电路材料产业技术创新联盟发布的T/ICMTIA ESG0040—2025《集成电路用前驱体 二碘硅烷》团体标准遵循开放、公平、透明、协商一致和促进贸易和交流的原则，按照在本平台公布的《标准制定程序文件_ICMTIA》制定。T/ICMTIA ESG0040—2025《集成电路用前驱体 二碘硅烷》团体标准规定的内容符合国家有关法律法规和强制性标准的要求，没有侵犯他人合法权益。
中关村集成电路材料产业技术创新联盟在自愿基础上作出本承诺，并对以上承诺内容的真实性负责。
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
2025年12月23日
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 中关村集成电路材料产业技术创新联盟 | ||
| 登记证号 | 51110000MJ0121530Y | 发证机关 | 北京市民政局 |
| 业务范围 | 开展集成电路材料领域的学术研究、学术交流、咨询培训、会议会展、支持成果转化、承办委托、国际交流。 | ||
| 法定代表人/负责人 | 石瑛 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 北京市海淀区知春路27号量子芯座大厦15层1712 | 邮编 : 100191 | |
| 标准详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 标准状态 | 现行 | ||
| 标准编号 | T/ICMTIA ESG0040—2025 | ||
| 中文标题 | 集成电路用前驱体 二碘硅烷 | ||
| 英文标题 | |||
| 国际标准分类号 | 31-030 | ||
| 中国标准分类号 | |||
| 国民经济分类 | C398 电子元件及电子专用材料制造 | ||
| 发布日期 | 2025年08月28日 | ||
| 实施日期 | 2025年10月28日 | ||
| 起草人 | 李建恒、张学奇、胡海琴、赵铁、张园园 | ||
| 起草单位 | 合肥安德科铭半导体科技有限公司、沁阳国顺硅源光电气体有限公司、洛阳中硅 高科技有限公司 | ||
| 范围 | |||
| 主要技术内容 | 本文件规定了集成电路用二碘硅烷的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、及留样、安全警示等内容。 本文件适用于集成电路原子层沉积技术制备氮化硅薄膜的二碘硅烷。 分子式：H2I2Si 相对分子质量：283.91 |
||
| 是否包含专利信息 | 否 | ||
| 标准文本 | 不公开 | ||
| 标准公告 | |||
|---|---|---|---|
| 标准发布公告 | 2025/12/22 15:02:33 | ||
*由中关村集成电路材料产业技术创新联盟于2025/12/22 15:02:33在团体标准信息平台公布，最后修改时间：2025/12/22 15:02:33
评论