中关村集成电路材料产业技术创新联盟自我承诺
中关村集成电路材料产业技术创新联盟发布的T/ICMTIA ESG0039—2024《集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》团体标准遵循开放、公平、透明、协商一致和促进贸易和交流的原则，按照在本平台公布的《标准制定程序文件_ICMTIA》制定。T/ICMTIA ESG0039—2024《集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》团体标准规定的内容符合国家有关法律法规和强制性标准的要求，没有侵犯他人合法权益。
中关村集成电路材料产业技术创新联盟在自愿基础上作出本承诺，并对以上承诺内容的真实性负责。
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
2025年12月22日
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 中关村集成电路材料产业技术创新联盟 | ||
| 登记证号 | 51110000MJ0121530Y | 发证机关 | 北京市民政局 |
| 业务范围 | 开展集成电路材料领域的学术研究、学术交流、咨询培训、会议会展、支持成果转化、承办委托、国际交流。 | ||
| 法定代表人/负责人 | 石瑛 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 北京市海淀区知春路27号量子芯座大厦15层1712 | 邮编 : 100191 | |
| 标准详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 标准状态 | 现行 | ||
| 标准编号 | T/ICMTIA ESG0039—2024 | ||
| 中文标题 | 集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | ||
| 英文标题 | Test method for measurement of impurity concentrations in titanium tetrachloride for integrated circuit by Inductively coupled-plasma Mass Spectrometry | ||
| 国际标准分类号 | 31-030 | ||
| 中国标准分类号 | |||
| 国民经济分类 | C398 电子元件及电子专用材料制造 | ||
| 发布日期 | 2024年04月30日 | ||
| 实施日期 | 2024年06月01日 | ||
| 起草人 | 万烨、赵雄、徐家扬、曹俊英、姜士兵、蒯丽君、陈得义、祝飘、聂兰建、赵 令浩、郭树虎、严大洲、常欣、刘见华、张园园、梁君 | ||
| 起草单位 | 洛阳中硅高科技有限公司、北矿检测技术股份有限公司、南大光电半导体材料有 限公司、威顿晶磷电子材料股份有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家地质实验测试中心、硅基 材料国家工程研中心。 | ||
| 范围 | |||
| 主要技术内容 | 本文件规定了四氯化钛中Li、Be、Na、Mg、Al、K、Ca、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、 As、Sr、Mo、Ag、Cd、Sn、Sb、Ba、Au、Pb、Bi、U等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法。 本文件适用于四氯化钛中Li、Be、Na、Mg、Al、K、Ca、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、 As、Sr、Mo、Ag、Cd、Sn、Sb、Ba、Au、Pb、Bi、U等元素含量的测定。各元素的测定范围0.1ng/g～ 50ng/g。 |
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| 是否包含专利信息 | 否 | ||
| 标准文本 | 不公开 | ||
| 标准公告 | |||
|---|---|---|---|
| 标准发布公告 | 2025/12/22 14:22:56 | ||
*由中关村集成电路材料产业技术创新联盟于2025/12/22 14:22:56在团体标准信息平台公布，最后修改时间：2025/12/22 14:22:56
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