浙江省质量协会自我承诺
浙江省质量协会发布的T/ZZB 3882—2024《等离子刻蚀机用硅环》团体标准遵循开放、公平、透明、协商一致和促进贸易和交流的原则，按照在本平台公布的《标准制定程序文件_ZZB》制定。T/ZZB 3882—2024《等离子刻蚀机用硅环》团体标准规定的内容符合国家有关法律法规和强制性标准的要求，没有侵犯他人合法权益。
浙江省质量协会在自愿基础上作出本承诺，并对以上承诺内容的真实性负责。
浙江省质量协会
2025年12月19日
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 浙江省质量协会 | ||
| 登记证号 | 513300005018702741 | 发证机关 | 浙江省民政厅 |
| 业务范围 | 政策咨询、信息管理、质量培训、质量会议、质量咨询、用户服务与评价、学术交流、编辑专业书刊、技术服务. | ||
| 法定代表人/负责人 | 吕继响 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 浙江省杭州市玉古路173号中田大厦301室 | 邮编 : 310012 | |
| 标准详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 标准状态 | 现行 | ||
| 标准编号 | T/ZZB 3882—2024 | ||
| 中文标题 | 等离子刻蚀机用硅环 | ||
| 英文标题 | Silicon ring for plasma etching machine | ||
| 国际标准分类号 | 29.045 | ||
| 中国标准分类号 | H82 | ||
| 国民经济分类 | C398 电子元件及电子专用材料制造 | ||
| 发布日期 | 2024年12月02日 | ||
| 实施日期 | 2025年01月02日 | ||
| 起草人 | 李长苏、祝建敏、刘志彪、郑小松、郭立华、密思、曾西、范明明、龚益文、祝军、周波、陈东、李熊、丁纺纺、刘永南、王少凡、曹锐、黄鹏。 | ||
| 起草单位 | 浙江盾源聚芯半导体科技有限公司、杭州盾源聚芯半导体科技有限公司、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司。 | ||
| 范围 | |||
| 主要技术内容 | 本文件规定了硅环的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件、订货单内容和质量承诺。 本文件适用于等离子刻蚀机用的p<100>直拉硅单晶加工成的直径200 mm～450 mm硅环。 |
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| 是否包含专利信息 | 否 | ||
| 标准文本 | 查看 | ||
| 标准公告 | |||
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| 标准发布公告 | 2025/12/18 9:55:49 | ||
*由浙江省质量协会于2025/12/18 9:55:49在团体标准信息平台公布，最后修改时间：2025/12/18 9:55:49
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