中关村国联绿色产业服务创新联盟自我承诺
中关村国联绿色产业服务创新联盟发布的T/GISIA 004—2025《微纳米压印光刻技术规范》团体标准遵循开放、公平、透明、协商一致和促进贸易和交流的原则，按照在本平台公布的《标准制定程序文件_GISIA》制定。T/GISIA 004—2025《微纳米压印光刻技术规范》团体标准规定的内容符合国家有关法律法规和强制性标准的要求，没有侵犯他人合法权益。
中关村国联绿色产业服务创新联盟在自愿基础上作出本承诺，并对以上承诺内容的真实性负责。
中关村国联绿色产业服务创新联盟
2025年12月11日
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 中关村国联绿色产业服务创新联盟 | ||
| 登记证号 | 51110000MJ0123288A | 发证机关 | 北京市民政局 |
| 业务范围 | 开展绿色产业领域的学术研究、学术交流、技术研发、成果转化、咨询培训、会议会展、国际交流、承办委托、公益活动。 | ||
| 法定代表人/负责人 | 杨洁 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 北京市大兴区亦庄经济技术开发区同济中路甲七号院3号楼4层 | 邮编 : 102600 | |
| 标准详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 标准状态 | 现行 | ||
| 标准编号 | T/GISIA 004—2025 | ||
| 中文标题 | 微纳米压印光刻技术规范 | ||
| 英文标题 | Technical Specification for Nanoimprint Lithography | ||
| 国际标准分类号 | 31-030 | ||
| 中国标准分类号 | |||
| 国民经济分类 | C352 化工、木材、非金属加工专用设备制造 | ||
| 发布日期 | 2025年11月30日 | ||
| 实施日期 | 2025年12月01日 | ||
| 起草人 | 丁海琴、李宁、姜银方、秦同春、居法银、崔玲玲、李志伟、张捷、唐少春、贾国栋、吉光、邵彪、陈奕璇、石健、顾晓敏、解复冬、鲍玉萍、江飞飞。 | ||
| 起草单位 | 南通理工学院、江苏优众微纳半导体科技有限公司、海安南京大学高新技术研究院、南通市产品质量监督检验所、南通大学。 | ||
| 范围 | 本文件适用于采用热压印、紫外压印、混合压印等方式制备微纳米结构的科研、生产和工程应用。 | ||
| 主要技术内容 | 本文件规定了微纳米压印光刻的术语定义、基本原则、工艺流程、技术要求、工艺控制、监测评价及质量管理等内容，提出了涵盖温度、压力、能量、时间等工艺参数的设定方法，明确了对准精度、图形保真度、残留层厚度等核心技术指标的控制要求。本文件给出了关键组件的性能指标，构建了数据追踪与闭环控制体系，建立了融合结构尺寸、表面形貌、缺陷密度、材料固化与模具状态等多维度的质量框架，为微纳米压印光刻工艺的规范化设计和规模化应用提供技术依据。 | ||
| 是否包含专利信息 | 否 | ||
| 标准文本 | 不公开 | ||
| 标准公告 | |||
|---|---|---|---|
| 标准发布公告 | 2025/12/10 22:40:46 | ||
*由中关村国联绿色产业服务创新联盟于2025/12/10 22:40:46在团体标准信息平台公布，最后修改时间：2025/12/10 22:40:46
评论