中国国际科技促进会自我承诺
中国国际科技促进会发布的T/CI 954—2025《半导体清洗机用兆声波清洗系统》团体标准遵循开放、公平、透明、协商一致和促进贸易和交流的原则，按照在本平台公布的《标准制定程序文件_CI》制定。T/CI 954—2025《半导体清洗机用兆声波清洗系统》团体标准规定的内容符合国家有关法律法规和强制性标准的要求，没有侵犯他人合法权益。
中国国际科技促进会在自愿基础上作出本承诺，并对以上承诺内容的真实性负责。
中国国际科技促进会
2025年09月03日
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 中国国际科技促进会 | ||
| 登记证号 | 51100000500017650Q | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 技术开发 信息交流 专业展览 业务培训 咨询服务 | ||
| 法定代表人/负责人 | 许军 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 北京市海淀区中关村东路89号恒兴大厦13F | 邮编 : 100190 | |
| 标准详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 标准状态 | 现行 | ||
| 标准编号 | T/CI 954—2025 | ||
| 中文标题 | 半导体清洗机用兆声波清洗系统 | ||
| 英文标题 | Megasonic cleaning system for semiconductor cleaning machines | ||
| 国际标准分类号 | 25.040.01 工业自动化系统综合 | ||
| 中国标准分类号 | |||
| 国民经济分类 | C356 电子和电工机械专用设备制造 | ||
| 发布日期 | 2025年04月01日 | ||
| 实施日期 | 2025年04月01日 | ||
| 起草人 | 梁珍友、韩琴琴、韩亮亮、林伟军、王成会、龚涛、肖长锦、陈炯杰、杨正朝、周吉、黄长斌。 | ||
| 起草单位 | 深圳绿源轩电子技术有限公司、中国科学院声学研究所、陕西省超声学重点实验室、深圳职业技术大学超声技术研究所、宁波新芝生物科技股份有限公司、声达半导体设备（江苏）有限公司、正阳融合微电子技术（珠海）有限公司、昆山市超声仪器有限公司、浙江坤搏环保科技有限公司。 | ||
| 范围 | 本文件规定了半导体清洗机用兆声波清洗系统（以下简称清洗系统）的总体要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输和贮存。 本文件适用于半导体清洗机用频率为兆赫兹的超声波清洗系统的设计、生产及检验。 | ||
| 主要技术内容 | 本文件规定了半导体清洗机用兆声波清洗系统（以下简称清洗系统）的总体要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输和贮存。 | ||
| 是否包含专利信息 | 是 | ||
| 标准文本 | 不公开 | ||
| 标准公告 | |||
|---|---|---|---|
| 标准发布公告 | 2025/9/3 7:34:02 | ||
*由中国国际科技促进会于2025/9/3 7:34:02在团体标准信息平台公布，最后修改时间：2025/9/3 7:34:02
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