中国国际科技促进会自我承诺
中国国际科技促进会发布的T/CI 961—2025《半导体设备用碳化硅陶瓷零部件》团体标准遵循开放、公平、透明、协商一致和促进贸易和交流的原则，按照在本平台公布的《标准制定程序文件_CI》制定。T/CI 961—2025《半导体设备用碳化硅陶瓷零部件》团体标准规定的内容符合国家有关法律法规和强制性标准的要求，没有侵犯他人合法权益。
中国国际科技促进会在自愿基础上作出本承诺，并对以上承诺内容的真实性负责。
中国国际科技促进会
2025年07月25日
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 中国国际科技促进会 | ||
| 登记证号 | 51100000500017650Q | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 技术开发 信息交流 专业展览 业务培训 咨询服务 | ||
| 法定代表人/负责人 | 许军 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 北京市海淀区中关村东路89号恒兴大厦13F | 邮编 : 100190 | |
| 标准详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 标准状态 | 现行 | ||
| 标准编号 | T/CI 961—2025 | ||
| 中文标题 | 半导体设备用碳化硅陶瓷零部件 | ||
| 英文标题 | Silicon carbide ceramic components for semiconductor equipment | ||
| 国际标准分类号 | 81.060.30 高级陶瓷 | ||
| 中国标准分类号 | |||
| 国民经济分类 | C356 电子和电工机械专用设备制造 | ||
| 发布日期 | 2025年04月15日 | ||
| 实施日期 | 2025年04月15日 | ||
| 起草人 | 徐斌、徐勤龙、李季、陈诚、宋宝山、沈赟、马坤、罗统斌、薛振坤、袁洪峰。 | ||
| 起草单位 | 宁波伏尔肯科技股份有限公司、山田新材料集团有限公司、绍兴晶彩科技有限公司、广西三元华鑫特种陶瓷有限公司、江苏晶孚新材料科技有限公司。 | ||
| 范围 | 本文件规定了半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的术语和定义、产品结构和分类、生产工艺、技术要求、试验方法、检验规则和应用。 本文件适用于半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的生产制造和应用。 | ||
| 主要技术内容 | 本文件规定了半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的术语和定义、产品结构和分类、生产工艺、技术要求、试验方法、检验规则和应用。 | ||
| 是否包含专利信息 | 否 | ||
| 标准文本 | 查看 | ||
| 标准公告 | |||
|---|---|---|---|
| 标准发布公告 | 2025/7/24 22:16:00 | ||
*由中国国际科技促进会于2025/7/24 22:16:00在团体标准信息平台公布，最后修改时间：2025/7/24 22:16:00
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