山东省新材料产业协会自我承诺
山东省新材料产业协会发布的T/SDAMA 008—2025《碳化硅陶瓷晶舟》团体标准遵循开放、公平、透明、协商一致和促进贸易和交流的原则，按照在本平台公布的《标准制定程序文件_SDAMA》制定。T/SDAMA 008—2025《碳化硅陶瓷晶舟》团体标准规定的内容符合国家有关法律法规和强制性标准的要求，没有侵犯他人合法权益。
山东省新材料产业协会在自愿基础上作出本承诺，并对以上承诺内容的真实性负责。
山东省新材料产业协会
2025年03月17日
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 山东省新材料产业协会 | ||
| 登记证号 | 51370000MJD634321N | 发证机关 | 山东省民政厅 |
| 业务范围 | 产业调研，理论研究，技术研发，标准规范制定，技术和成果推介，数据收集和分析，业务培训、会议、咨询服务，承接政府购买服务。 | ||
| 法定代表人/负责人 | 周传健 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 山东省济南市历下区经十路17923号 | 邮编 : 250061 | |
| 标准详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 标准状态 | 现行 | ||
| 标准编号 | T/SDAMA 008—2025 | ||
| 中文标题 | 碳化硅陶瓷晶舟 | ||
| 英文标题 | Silicon carbide ceramic wafer boat | ||
| 国际标准分类号 | 81.060.30 高级陶瓷 | ||
| 中国标准分类号 | |||
| 国民经济分类 | C307 陶瓷制品制造 | ||
| 发布日期 | 2025年03月17日 | ||
| 实施日期 | 2025年03月17日 | ||
| 起草人 | 王明峰、王东、石金旺、毕见强、周强、赵佳彬、高惠、李伟强、石威、尹东胜、龚红宇、王伟礼、孙国勋、韩桂芳、郝文虎、崔伟、李补忠、刘爱伟、王克、周健华、王改云 | ||
| 起草单位 | 山东华美新材料科技股份有限公司、山东大学、山东圣诺实业有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、山东依莱特硅业有限公司、山东省新材料产业协会 | ||
| 范围 | |||
| 主要技术内容 | 本文件规定了碳化硅陶瓷晶舟的分类与规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标记、运输和储存。 本文件适用于应用于半导体集成电路（IC）制程，使用温度不超过1350 ℃的碳化硅陶瓷晶舟。 |
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| 是否包含专利信息 | 否 | ||
| 标准文本 | 不公开 | ||
| 标准公告 | |||
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| 标准发布公告 | 2025/3/17 13:48:31 | ||
*由山东省新材料产业协会于2025/3/17 13:48:31在团体标准信息平台公布，最后修改时间：2025/3/17 13:48:31
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