中关村半导体照明工程研发及产业联盟（国家半导体照明工程研发及产业联盟）自我承诺
中关村半导体照明工程研发及产业联盟（国家半导体照明工程研发及产业联盟）发布的T/CSA 092—2024《MOCVD设备 托盘感应加热系统 技术规范》团体标准遵循开放、公平、透明、协商一致和促进贸易和交流的原则，按照在本平台公布的《标准制定程序文件_CSA》制定。T/CSA 092—2024《MOCVD设备 托盘感应加热系统 技术规范》团体标准规定的内容符合国家有关法律法规和强制性标准的要求，没有侵犯他人合法权益。
中关村半导体照明工程研发及产业联盟（国家半导体照明工程研发及产业联盟）在自愿基础上作出本承诺，并对以上承诺内容的真实性负责。
中关村半导体照明工程研发及产业联盟（国家半导体照明工程研发及产业联盟）
2025年02月21日
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 中关村半导体照明工程研发及产业联盟（国家半导体照明工程研发及产业联盟） | ||
| 登记证号 | 0011820 | 发证机关 | 北京市民政局 |
| 业务范围 | 组织半导体照明技术研发及推广应用；开展技术咨询、专利服务、专业培训和信息服务；制定技术标准，开展检测、认证；承接政府委托；开展国际交流与合作。 | ||
| 法定代表人/负责人 | 阮军 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 北京市海淀区清华东路甲35号中科院半导体所5号楼5层 | 邮编 : 100083 | |
| 标准详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 标准状态 | 现行 | ||
| 标准编号 | T/CSA 092—2024 | ||
| 中文标题 | MOCVD设备 托盘感应加热系统 技术规范 | ||
| 英文标题 | MOCVD equipment—Susceptor induction heating system—Technical specification | ||
| 国际标准分类号 | 21.020 | ||
| 中国标准分类号 | K91 | ||
| 国民经济分类 | C356 电子和电工机械专用设备制造 | ||
| 发布日期 | 2024年11月21日 | ||
| 实施日期 | 2024年11月21日 | ||
| 起草人 | 李勇志、郭世平、金文彬、姜勇、徐圆圆、余湛、刘建明、朱佰喜、陈兆营、涂逵、陈福鸽、刘强、胡国新、陆文强、李本亮、徐苏楠。 | ||
| 起草单位 | 中微半导体设备（上海）股份有限公司、中关村半导体照明联合创新重点实验室、厦门三安光电有限公司、东莞市志橙半导体材料有限公司、北京大学、晶能光电股份有限公司、安泰天龙钨钼科技有限公司、北京大学东莞光电研究院、中国科学院半导体研究所、中国科学院重庆绿色智能技术研究院、中国计量大学、广东省东莞市质量监督检测中心。 | ||
| 范围 | 本文件规定了MOCVD设备托盘感应加热系统（以下简称“感应加热系统”）的技术要求和试验方法。 本文件适用于感应加热系统的研发、制备、测试分析及其评价。 | ||
| 主要技术内容 | 本文件规定了MOCVD设备托盘感应加热系统（以下简称“感应加热系统”）的技术要求和试验方法。 本文件适用于感应加热系统的研发、制备、测试分析及其评价。 |
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| 是否包含专利信息 | 否 | ||
| 标准文本 | 不公开 | ||
| 标准公告 | |||
|---|---|---|---|
| 标准发布公告 | 2025/2/21 16:29:20 | ||
*由中关村半导体照明工程研发及产业联盟（国家半导体照明工程研发及产业联盟）于2025/2/21 16:29:20在团体标准信息平台公布，最后修改时间：2025/2/21 16:29:20
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