中国国际科技促进会自我承诺
中国国际科技促进会发布的T/CI 334—2024《半导体设备隔振系统设计及技术要求》团体标准遵循开放、公平、透明、协商一致和促进贸易和交流的原则，按照在本平台公布的《标准制定程序文件_CI》制定。T/CI 334—2024《半导体设备隔振系统设计及技术要求》团体标准规定的内容符合国家有关法律法规和强制性标准的要求，没有侵犯他人合法权益。
中国国际科技促进会在自愿基础上作出本承诺，并对以上承诺内容的真实性负责。
中国国际科技促进会
2024年04月25日
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 中国国际科技促进会 | ||
| 登记证号 | 51100000500017650Q | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 技术开发 信息交流 专业展览 业务培训 咨询服务 | ||
| 法定代表人/负责人 | 许军 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 北京市海淀区中关村东路89号恒兴大厦13F | 邮编 : 100190 | |
| 标准详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 标准状态 | 现行 | ||
| 标准编号 | T/CI 334—2024 | ||
| 中文标题 | 半导体设备隔振系统设计及技术要求 | ||
| 英文标题 | Design and technical requirements for isolation systems in semiconductor equipments | ||
| 国际标准分类号 | 39.020 | ||
| 中国标准分类号 | L56 | ||
| 国民经济分类 | C398 电子元件及电子专用材料制造 | ||
| 发布日期 | 2024年04月18日 | ||
| 实施日期 | 2024年04月18日 | ||
| 起草人 | 陆泽琦、陈立群、张建华、贾建军、谢永、刘兴天、李浩源、闫腾飞、凌晓、辛涵申、姜琳、陶大燎、薛杰、陈震宇、欧阳郁汀。 | ||
| 起草单位 | 上海大学力学与工程科学学院、上海大学微电子学院、中国科学院上海技术物理研究所、上海卫星工程研究所、浙江零振智能装备有限公司、上海隐冠半导体技术有限公司、上海路博减振科技股份有限公司。 | ||
| 适用范围 | |||
| 主要技术内容 | 本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。 本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。 本文件中仪器本身被视为系统中已确定的载荷。 |
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| 是否包含专利信息 | 否 | ||
| 标准文本 | 查看 | ||
| 标准公告 | |||
|---|---|---|---|
| 标准发布公告 | 2024/4/23 5:14:38 | ||
*由中国国际科技促进会于2024/4/23 5:14:38在团体标准信息平台公布，最后修改时间：2024/4/23 5:14:38
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