| 标准详细信息 |
| 标准状态 |
已公布 |
| 标准编号 |
T/ZSA 325—2026 |
| 中文标题 |
气体质量流量控制器性能测试规范 |
| 英文标题 |
Performance Test Specifications for Gas Mass Flow Controllers |
| 发布日期 |
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| 实施日期 |
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| 范围 |
本标准适用于半导体制造设备所用气体质量流量控制器的性能测试与评价
本标准规定测试内容：
气体质量流量控制器的精度、线性度、重复性、滞后和死区的测试条件与方法，气体质量流量控制器对设定点阶跃变化的瞬态响应特性的测试条件与方法，入口与出口压力变化对气体质量流量控制器指示流量与实际流量影响的测试方法。
本标准未涉及与气体质量流量控制器使用相关的所有安全问题。使用者有责任建立适当的安全与健康操作规范，并确认符合相关法律法规的要求。 |
| 主要技术内容 |
本标准适用于半导体制造设备所用气体质量流量控制器的性能测试与评价
本标准规定测试内容：
气体质量流量控制器的精度、线性度、重复性、滞后和死区的测试条件与方法，气体质量流量控制器对设定点阶跃变化的瞬态响应特性的测试条件与方法，入口与出口压力变化对气体质量流量控制器指示流量与实际流量影响的测试方法。
本标准未涉及与气体质量流量控制器使用相关的所有安全问题。使用者有责任建立适当的安全与健康操作规范，并确认符合相关法律法规的要求。 |
| 标准购买信息 |
| 出售价格 |
0.00元 |
| 联系人 |
王鑫邈 |
| 联系电话 |
15510609010 |
| 手机号码 |
15510609010 |
| 传真 |
|
| Email |
zgcsa@zgcsa.cn |
| 简介 |
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