| 标准详细信息 | |
|---|---|
| 标准状态 | 已公布 |
| 标准编号 | T/ZSA 324—2026 |
| 中文标题 | 等离子体化学气相沉积设备用密封圈技术规范 |
| 英文标题 | Technical Specification for O-ring Used in PECVD Equipment |
| 发布日期 | |
| 实施日期 | |
| 范围 | 本标准规定了等离子体化学气相沉积设备用O型密封圈的基本性能要求、设计参数、材料选择、试验方法以及包装、运输和贮存等方面的技术要求。 本标准适用于半导体制造过程中等离子体化学气相沉积设备的真空系统、加热系统、高频电源及控制系统中使用的各类密封圈。 |
| 主要技术内容 | 本标准规定了等离子体化学气相沉积设备用O型密封圈的基本性能要求、设计参数、材料选择、试验方法以及包装、运输和贮存等方面的技术要求。 本标准适用于半导体制造过程中等离子体化学气相沉积设备的真空系统、加热系统、高频电源及控制系统中使用的各类密封圈。 |
| 标准购买信息 | |
| 出售价格 | 0.00元 |
| 联系人 | 王鑫邈 |
| 联系电话 | 15510609010 |
| 手机号码 | 15510609010 |
| 传真 | |
| zgcsa@zgcsa.cn | |
| 简介 | |