标准详细信息 | |
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标准状态 | 已公布 |
标准编号 | T/CNIA 0288—2025 |
中文标题 | 半导体洁净室 水溶性空气分子污染物(AMC)的测定 离子色谱法 |
英文标题 | |
发布日期 | |
实施日期 | |
范围 | |
主要技术内容 | 本文件描述了半导体洁净室空气分子污染物(AMC)中水溶性阴离子(F-、Cl-、Br-、NO3-、PO43-、SO42-、NO2-)及阳离子(Li+、Na+、NH4+、K+、Mg2+、Ca2+)的离子色谱仪测定方法。 本文件适用于半导体洁净室水溶性空气分子污染物(AMC)中阴离子和阳离子的测定。 |
标准购买信息 | |
出售价格 | 0.00元 |
联系人 | 张楠 |
联系电话 | 15901368298 |
手机号码 | 15901368298 |
传真 | |
15901368298@163.com | |
简介 |