| 标准详细信息 | |
|---|---|
| 标准状态 | 已公布 |
| 标准编号 | T/CNIA 0287—2025 |
| 中文标题 | 半导体洁净室 空气分子污染物（AMC）掺杂剂B和P测定 电感耦合等离子体质谱法 |
| 英文标题 | |
| 发布日期 | |
| 实施日期 | |
| 范围 | |
| 主要技术内容 | 本文件描述了电感耦合等离子体质谱法测定半导体洁净室空气分子污染物（AMC）中掺杂剂B和P的方法。 本文件适用于半导体洁净室空气分子污染物（AMC）中掺杂剂B和P的测定。 |
| 标准购买信息 | |
| 出售价格 | 0.00元 |
| 联系人 | 张楠 |
| 联系电话 | 15901368298 |
| 手机号码 | 15901368298 |
| 传真 | |
| 15901368298@163.com | |
| 简介 | |