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中国化工学会关于《半导体用缓冲氧化蚀刻液》等3项团体标准征求意见的通知

化会字〔2026〕第10号
发布人:中国化工学会 发布时间:2026-03-02

各有关单位及专家:

   由中国化工学会组织制定的《半导体用缓冲氧化蚀刻液》等3项团体标准已完成征求意见稿,现公开征求意见。请于2026年4月2日之前将中国化工学会团体标准征求意见表(见附件4)以电子邮件的形式反馈至中国化工学会。

联系人:杨越  电话:010-64455951  邮箱:yangy@ciesc.cn

件:

1.《半导体用缓冲氧化蚀刻液》征求意见稿和编制说明

2.《工业用2,3-二氯-5-三氟甲基吡啶副产次氯酸钠》征求意见稿和编制说明

3.《工业用2,3-二氯-5-三氟甲基吡啶副产氢氟酸》征求意见稿和编制说明

4. 中国化工学会团体标准征求意见表                  

中国化工学会

公章-学会1                               2026年3月2日

附件1《半导体用缓冲氧化蚀刻液》编制说明(征求意见稿).pdf

附件1《半导体用缓冲氧化蚀刻液》征求意见稿.pdf

附件2《工业用2,3-二氯-5-三氟甲基吡啶副产次氯酸钠》编制说明(征求意见稿).pdf

附件2《工业用2,3-二氯-5-三氟甲基吡啶副产次氯酸钠》征求意见稿.pdf

附件3《工业用2,3-二氯-5-三氟甲基吡啶副产氢氟酸》(征求意见稿)编制说明.pdf

附件3《工业用2,3-二氯-5-三氟甲基吡啶副产氢氟酸》征求意见稿.pdf

附件4 征求意见表.doc

关于《半导体用缓冲氧化蚀刻液》等3项团体标准征求意见的通知_盖章.pdf