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中关村光电产业协会关于批准发布《MEMS谐振式器件气密封装漏率测试方法》团体标准的公告
发布人:中关村光电产业协会 发布时间:2025-07-21

各相关单位:

根据国家标准化管理委员会《团体标准管理规定》以及《中关村光电产业协会团体标准管理办法》的有关规定,经审查,《MEMS谐振式器件气密封装漏率测试方法》T/ZOIA 3022-2025)团体标准符合标准制定全部程序,现予以公布,自2025721日起实施。特此公告。

 

 

 

 

中关村光电产业协会

2025年7月21日


中关村光电产业协会关于批准发布《MEMS谐振式器件气密封装漏率测试方法》团体标准的公告.pdf