各位专家、委员及行业相关单位:
由集成电路材料联盟组织实施的《电子级氟化氢》等4项标准已完成征求意见稿编制,现公开广泛征求意见。
序号 立项编号 标准名称
1 2026-29LX-ICMTIA 《集成电路用气体 氟化氢》
2 2026-30LX-ICMTIA 《集成电路光掩膜基板用高纯铬靶材》
3 2026-31LX-ICMTIA 《集成电路光掩膜基板用高纯钼硅靶材》
4 2026-32LX-ICMTIA 《集成电路用40纳米节点光掩模工艺规范》
请各有关单位及个人于通知发布之日起 30 个自然日前将反馈意见发送至联盟标准委员会。不限形式,便于清晰表述意见内容即可。逾期未回复者视为无意见,诚挚感谢!
:王大方
: 13811525241
: dafang_wang@icmtia.com
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
2026年08月28日