各相关单位：
根据《中国欧洲经济技术合作协会团体标准管理办法》相关规定，《半导体刻蚀设备用高纯硅微孔部件加工技术规范》等十五项团体标准符合中国欧洲经济技术合作协会团体标准立项条件，现予以立项，相关信息见附件。
请各相关单位严格按照要求抓紧组织实施，严把标准质量关，按时完成标准的编制工作。
中国欧洲经济技术合作协会
2026年07月31日
各相关单位：
根据《中国欧洲经济技术合作协会团体标准管理办法》相关规定，《半导体刻蚀设备用高纯硅微孔部件加工技术规范》等十五项团体标准符合中国欧洲经济技术合作协会团体标准立项条件，现予以立项，相关信息见附件。
请各相关单位严格按照要求抓紧组织实施，严把标准质量关，按时完成标准的编制工作。
