各有关单位：
根据《团体标准管理规定》（国标委联〔2019〕1号）及海南省节能减排协会标准管理办法，由海南省节能减排协会牵头起草的《半导体单片式湿法刻蚀设备技术要求》《半导体多槽式湿法刻蚀设备技术要求》《半导体湿法刻蚀清洗工艺通用技术规范》《水质智能实时监测预警与异常诊断系统技术规范》《全光谱水质检测仪技术要求》团体标准符合立项条件，现批准立项。请有关起草单位按照协会标准化工作要求，尽快组织相关人员进行编写，同时强化编制过程中的质量管理，加强组织协调，确保按期完成标准编制工作。
此特公告。
附件：海南省节能减排协会团体标准立项项目表
海南省节能减排协会
2026年05月12日
