全国城市工业品贸易中心联合会自我承诺
全国城市工业品贸易中心联合会发布的T/QGCML 4860—2025《无掩模版紫外光刻机》团体标准遵循开放、公平、透明、协商一致和促进贸易和交流的原则，按照在本平台公布的《标准制定程序文件_QGCML》制定。T/QGCML 4860—2025《无掩模版紫外光刻机》团体标准规定的内容符合国家有关法律法规和强制性标准的要求，没有侵犯他人合法权益。
全国城市工业品贸易中心联合会在自愿基础上作出本承诺，并对以上承诺内容的真实性负责。
全国城市工业品贸易中心联合会
2025年05月26日
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 全国城市工业品贸易中心联合会 | ||
| 登记证号 | 51100000500004382K | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 行业自律、信息交流、书刊编辑、专业展览、国际合作、业务培训、咨询服务 | ||
| 法定代表人/负责人 | 魏晓英 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 北京市丰台区科学城星火路10号2号楼D18室 | 邮编 : 100036 | |
| 标准详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 标准状态 | 现行 | ||
| 标准编号 | T/QGCML 4860—2025 | ||
| 中文标题 | 无掩模版紫外光刻机 | ||
| 英文标题 | |||
| 国际标准分类号 | 31.260 | ||
| 中国标准分类号 | |||
| 国民经济分类 | C404 光学仪器及眼镜制造 | ||
| 发布日期 | 2025年05月22日 | ||
| 实施日期 | 2025年06月06日 | ||
| 起草人 | 严振中、高尧、曹春霞、王寅涛、高真真、胡进、王生吉、王倩。 | ||
| 起草单位 | 托托科技（苏州）有限公司、苏州亿拓光电科技有限公司、苏州齐光致远科技有限公司、伊诺菲（苏州）科技有限公司。 | ||
| 范围 | |||
| 主要技术内容 | 本文件规定了无掩模版紫外光刻机的术语定义、产品分类与结构、工作环境、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于无掩模版紫外光刻机的设计、研发、生产和检验。 |
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| 是否包含专利信息 | 否 | ||
| 标准文本 | 不公开 | ||
| 标准公告 | |||
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| 标准发布公告 | 2025/5/22 11:58:07 | ||
*由全国城市工业品贸易中心联合会于2025/5/22 11:58:07在团体标准信息平台公布，最后修改时间：2025/5/22 11:58:07
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