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浙江省半导体行业协会关于批准发布《高温工艺用硅制晶舟》团体标准的公告

浙半发〔2025〕23号
发布人:浙江省半导体行业协会 发布时间:2025-12-05

根据《浙江省半导体行业协会团体标准管理办法》及相关文件要求,经评审专家审核通过,现批准发布《高温工艺用硅制晶舟》团体标准,标准号分别T/ZJBDT 010-2025。该项标准于2025年12月05日发布,自2025年12月05日起实施。

现予以公告。

 

附件:《高温工艺用硅制晶舟》团体标准

 

浙江省半导体行业协会

2025年12月05日

关于批准发布《高温工艺用硅制晶舟》团体标准的公告.pdf

附件:《高温工艺用硅制晶舟》团体标准.pdf