中国电子学会自我承诺
中国电子学会发布的T/CIE 132—2022《磁控溅射设备薄膜精度测试方法》团体标准遵循开放、公平、透明、协商一致和促进贸易和交流的原则，按照在本平台公布的《标准制定程序文件_CIE》制定。T/CIE 132—2022《磁控溅射设备薄膜精度测试方法》团体标准规定的内容符合国家有关法律法规和强制性标准的要求，没有侵犯他人合法权益。
中国电子学会在自愿基础上作出本承诺，并对以上承诺内容的真实性负责。
中国电子学会
2022年12月29日
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 中国电子学会 | ||
| 登记证号 | 社证字第4079号 | 发证机关 | 中华人民共和国民政部 |
| 业务范围 | 学术交流 教育普及 书刊编辑 评审鉴定 专业展览 咨询服务 | ||
| 法定代表人/负责人 | 陈英 | ||
| 依托单位名称 | 中华人民共和国工业和信息化部 | ||
| 通讯地址 | 北京市玉渊潭南路普惠南里13号 | 邮编 : 100036 | |
| 标准详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 标准状态 | 现行 | ||
| 标准编号 | T/CIE 132—2022 | ||
| 中文标题 | 磁控溅射设备薄膜精度测试方法 | ||
| 英文标题 | |||
| 国际标准分类号 | 23.160 | ||
| 中国标准分类号 | |||
| 国民经济分类 | I6520 集成电路设计 | ||
| 发布日期 | 2022年08月10日 | ||
| 实施日期 | 2022年08月10日 | ||
| 起草人 | 赵巍胜、张博宇、程厚义、Sylvain EIMER、彭守仲、许涌、Pierre VALLOBRA、王子路、姚宇暄、许人友、葛继尧、杜寅昌、杜鸿基、李殿浦、杨玉杰、王戈飞、刘宏喜、郭玮、何帆。 | ||
| 起草单位 | 北京航空航天大学、合肥致真精密设备有限公司、合肥致真智能装备有限公司、北京维开科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、致真存储(北京)科技有限公司、深圳亘存科技有限责任公司。 | ||
| 范围 | |||
| 主要技术内容 | 本标准给出了磁控溅射设备薄膜精度评价的术语、测试原理、被测件、测试环境、测试设备、测试程序等。 本标准适用于磁控溅射设备沉积薄膜精度的验证。 |
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| 是否包含专利信息 | 否 | ||
| 标准文本 | 查看 | ||
| 标准公告 | |||
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| 标准发布公告 | 2022/12/29 10:29:31 | ||
*由中国电子学会于2022/12/29 10:29:31在团体标准信息平台公布，最后修改时间：2022/12/29 10:29:31
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