河北省标准化协会自我承诺
河北省标准化协会发布的T/CHBAS 41—2023《电子工业用气体 乙硼烷混合气》团体标准遵循开放、公平、透明、协商一致和促进贸易和交流的原则，按照在本平台公布的《标准制定程序文件_CHBAS》制定。T/CHBAS 41—2023《电子工业用气体 乙硼烷混合气》团体标准规定的内容符合国家有关法律法规和强制性标准的要求，没有侵犯他人合法权益。
河北省标准化协会在自愿基础上作出本承诺，并对以上承诺内容的真实性负责。
河北省标准化协会
2024年02月23日
| 团体详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 团体名称 | 河北省标准化协会 | ||
| 登记证号 | 51130000506400941D | 发证机关 | 河北省民政厅 |
| 业务范围 | 咨询、培训、技术服务、标准制修订、学术交流等 | ||
| 法定代表人/负责人 | 张建勇 | ||
| 依托单位名称 | |||
| 通讯地址 | 河北省石家庄市桥西区中华南大街418号 | 邮编 : 050091 | |
| 标准详细信息 | |||
|---|---|---|---|
| 标准状态 | 现行 | ||
| 标准编号 | T/CHBAS 41—2023 | ||
| 中文标题 | 电子工业用气体 乙硼烷混合气 | ||
| 英文标题 | |||
| 国际标准分类号 | 71.100.20 工业气体 | ||
| 中国标准分类号 | |||
| 国民经济分类 | C419 其他未列明制造业 | ||
| 发布日期 | 2023年12月22日 | ||
| 实施日期 | 2023年12月30日 | ||
| 起草人 | 殷越玲、李林、滕鑫胜、李旭、王星帅、陈良、薛贺来、唐中伟 | ||
| 起草单位 | 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八 研究所、中船（邯郸）派瑞氢能科技有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司 | ||
| 范围 | |||
| 主要技术内容 | 本文件规定了电子工业用乙硼烷混合气（以下简称乙硼烷混合气）的技术要求、试验方法、检 验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于电子工业用乙硼烷混合气，主要用作外延工艺的掺杂源、扩散工艺的扩散源和离 子注入源。乙硼烷混合气中平衡气多为氦气、氩气、氮气、氢气，也可以是其他不与乙硼烷发生化 学反应，且不影响反应工艺的气体。 |
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| 是否包含专利信息 | 否 | ||
| 标准文本 | 不公开 | ||
| 标准公告 | |||
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| 标准发布公告 | 2024/2/23 12:56:39 | ||
*由河北省标准化协会于2024/2/23 12:56:39在团体标准信息平台公布，最后修改时间：2024/2/23 12:56:39
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